锆钛酸铅厚膜材料的制备方法[发明专利]
来源：华佗小知识
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：锆钛酸铅厚膜材料的制备方法专利类型：发明专利
发明人：胡淑红,戴宁,孟祥建,胡古今,孙艳,王根水申请号：CN03150823.5申请日：20030905公开号：CN1522985A公开日：20040825
摘要：本发明提供了一种锆钛酸铅厚膜材料的制备方法，该方法包括前驱体溶液的配制，即将溶剂乙二醇甲醚、稳定剂乙酰丙酮和溶质醋酸铅、钛酸四丁酯和四正丁氧基锆以1.0M的浓度，在无水系统下配制成均匀稳定的前驱体溶液。然后在SrTiO基片上进行匀胶得到干膜，并在快速热退火炉中分段升温进行热处理，得到所需厚度的锆钛酸铅(简称PZT)厚膜材料。本发明通过将每层凝胶膜热处理后的厚度控制在120纳米，实现单一(001)取向的异质外延薄膜，从而形成厚度达3微米的厚膜材料。本发明的厚膜材料可适于光波导器件，微电子机械系统(MEMS)器件等方面的应用。
申请人：中国科学院上海技术物理研究所
地址：200083 上海市玉田路500号
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
代理人：张泽纯
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容