专利名称：靶材结构及其溅镀设备专利类型：实用新型专利发明人：陈维燕
申请号：CN201020262992.2申请日：20100715公开号：CN2018349U公开日：20110518
摘要：一种靶材结构及其溅镀设备。靶材结构包括一靶材主体。靶材主体具有彼此相对的一上表面与一下表面、多个连接上表面与下表面的侧表面以及至少一倾斜面。倾斜面连接上表面与至少一侧表面。倾斜面与上表面夹一特定角度。
申请人：华映视讯(吴江)有限公司,中华映管股份有限公司
地址：215217 江苏省苏州市吴江经济开发区同里分区江兴东路88号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：孙长龙
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