江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 1. 目的：规范操作，为生产车间操作规范化提供依据 2. 范围：适用于PECVD设备使用工序.
3. 职责：
3.1.1负责PECVD设备的开机和关机程序。 3.1.2负责PECVD设备的日常维护。
3.1.3负责发现作业过程中其设备出现问题怎样解决。
4. 名词定义：无 5. 设备使用程序：
5.1 使用环境及工作条件
5.1.1 环境温度 5.1.2 相对湿度 5.1.3 净化等级
＜25℃ ＜75%
1000级~10000级
5.1.4 电源 三相五线，380V/50HZ，≤50KW/管 5.1.5 供水 5.1.6 供气
水压0.2MPa~0.4MPa
SiH4 NH3 N2 O2 CF4五路气体，气压
0.2MPa~0.45MPa 5.1.7 配排风排毒装置
5.2对环境及能源的影响
PECVD设备本身对环境及能源没有任何影响，若用户采用不同的工艺，使用不同的气体可能对环境稍有影响，但由于用气量非常小，不会造成任何危害。
5.3安全
版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 本设备在设计过程中已充分地考虑了安全因素，只要用户不违反操作规程绝不会出现安全事故。唯一可能在工艺过程中使用易燃气体SiH4，气体源应远离操作台，工作场地禁止使用明火，工作人员禁止吸烟。所有气路管道不允许有任何泄漏点。
5.4使用前的准备
5.4.1 接通整机电源； 5.4.2 接通本机水路； 5.4.3 接通各路气路。
若设备停止工作时，应该将反应管内部抽成真空，停止加热，其目的是为了防止真空管路过热，会使压力传感器严重零漂，影响压力测量。待温度低于250℃再停水，并关断NH3、SiH4等气体的手动阀。
6设备开启及关闭条件和方法
6.1开启条件
炉门开启前提条件：A、“常压”灯亮；B、“推舟退到位”亮； 炉门关闭前提条件：A、“推舟退到位”亮；
手动推舟运动的前提条件：A、炉门“旋转开到位”亮；B、炉门汽缸“退 到位”亮；C、“常压”灯亮；
送片运动的前提条件：A、炉门“退到位”亮；B、炉门汽缸“退到位”亮；
版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 C、“常压”灯亮；D、升降处于“上位”；E推舟处于“退到位”； 取片运动的前提条件：A、炉门“退到位”亮；B、炉门汽缸“退到位”亮；C、“常压”灯亮；D、升降处于“下位”；E推舟处于“退到位”； 慢抽开启前提条件：A、炉门“旋转关到位”亮；B、炉门汽缸“进到位”亮；
主抽开启前提条件：A、“真空”灯亮；
特气阀开启前提条件：A、真空压力低于600Pa；
射频电源稳定工作条件：A、压力稳定；B、无片子短路；C、电极接触良好；
以上信号注意“常压”信号的正确性，由于此信号为电接点压力表提供，触点的力较小，有时需要人为轻轻啪一下电接点压力表，让“常压”灯亮；“真空”信号为电接点压力表与真空测量压力表共同提供的，信号较为可靠。
推舟系统的到位信号除了升降“上位”和升降“下位”是旋转编码器提供外，其它一律为光电行程开关定位；
由于旋转编码器无断电保持功能，注意在设备重新上电后，一定要对升降进行一次归原动作，方法是将升降机构往下运动，一直到“下位”，然后根据需要为送片还是取片，将其运动到“上位”或保持在“下位”；如果设备重新上电后没有对升降进行归原动作，有可能升降碰
版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 到极限开关，显示屏“极限开关”会亮，解决方法是停止升降动作，将固定升降极限开关的固定板送开，将升降运动至“下位”，再固定好极限开关的固定板；
6.2设备关闭方法
a、关闭加热；b、将反应室抽成真空；c、关闭慢抽和主抽；d、关闭真空泵；e、退出系统；f、关闭设备控制电源；g、断开墙上总电源
6.3设备启动方法
a、合上墙上总电源；b、开启设备控制电源；c、进入计算机系统；d、开启真空泵；e、开启加热；f、选定工艺文件；（注意检查水、电、气）
对于泵的启动方法有两种：A在计算机上启动；B在泵的编程器上启动；停止方法也一样
7 常见故障分析与排除
由于本设备是台特殊、专业性很强的设备。它集机械、电子、高频、计算机、真空、气体、传动及温度控制为一体，如使用得当，经常维护，就不容易出故障。如不按使用说明书严格操作，可能会出错，严重时可能会损坏设备，甚至出现人身事故。
常见故障分析与排除 序号 故障现象 故障原因分析 版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 排除方法 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 1 温控仪显⑴断偶 示 H.H.---- ⑵接触不良 ⑴更换热偶 ⑵检查接线端是否松动 ⑶补偿导线被损⑶更换补偿导线 坏 2 ⑴如温控表没有信号输出，温度⑴超温或断偶报继续升高，一般是可控硅被击穿，更换可控硅芯子即可。 ⑵打开水源，如无水应停机，否则会烧坏密封圈。 蜂鸣器叫 警 ⑵停水报警 3 温度超温消音按钮被误按将消音开关复位 而蜂鸣器下 不叫 4 水平层流⑴风机损坏 ⑴更换风机 无风或风⑵高效过滤器老⑵更换高效过滤器 量小 化 ⑴功率部件保险⑴更换保险芯 炉体某段芯断 不升温 ⑵可控硅开路 ⑵更换可控硅 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 5 版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 6 ⑴工艺管前端密⑴调整推舟机构 封不好 真空抽不⑵工艺两端密封⑵更换密封圈 上去 圈老化 ⑶真空泵油污染⑶更换泵油（在太阳能电池行业严重 7 压控仪在 抽真空过 泵油应常更换） 程中总处压力变送器电源打开电源，若仍无输出，更换电于报警状未打开 态，没有显示 源 8 所有开关 都不灵而急停开关被误操旋起急停开关 无法启动作 或中途突然停电 照明灯不灯管老化 更换灯管 9 亮 版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 机组声音 10 异常 (1)气压不够 立刻停机检查 (2)缺相 11 在生产过 程中发现压力突然过大，与上次压力不重复 在修改参数时，参检查参数是否正确 数不对 在自动程 12 序中执行步慢抽时，慢抽进舟时未完全到位，光电开关信号未给计算机。所以真空机组噪（1）采取跳上一步，再跳下一步即可。（2）如多次出现可调一下光电开关板的位置。 阀未打开 声大 13 在自动程序中执行到恒压时，发现可能某气源压力（1）上跳步到恒温步再检查原 不够或没有气源 因 （2）退出 版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 压力不正常 14 在放电过程中高频打不开或中途保护 硅片短路，或电极接触不良引起高频电源保护 按照正常程序对反应管反复抽真空后方可充气推舟，其理由是防止反应管内硅烷和氨气与空气反应，污染反应管及气路部分。
警告 当反应管内有硅烷及氨气时，严禁直接充氮推舟！
8 保养与维修
8.1 工艺完成后，不继续做工艺时，保持工艺管内为真空状态，每天做工艺时可察看各真空压力表读数，以便工艺管密封是否良好。 8.2 对气路的保护。在做完工艺后，必须按说明书要求去操作，千万不要让工艺气体留在管路中。由于环境温度较高时，产生的反应物堵塞质量流量计。
版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 8.3 为了保护罗茨泵机组的寿命，要经常更换机械泵油，只要油泵观察窗发现油黑了就必须更换。设备用在生产线上一般5天必须更换一次油。（干泵机组例外）
8.4 为了良好的工艺，优良的沉积膜，工艺管要定期进行酸洗，在生产线上至少一个月洗一次。
8.5 一个季度对设备进行一次性能的全面检查，检查各种功能是否正常可靠。
8.6 本设备必须有良好的工作环境，环境温度必须在20℃以下，由于SiH4的燃点非常低，在常温下会自燃，在28℃以上会发生反应。 8.7 罗茨泵的排风管道必须畅通，而且管路不能太长，否则由于排气不畅而发生爆鸣，严重时油泵观察窗会爆破。轴承加油嘴必须保持始终有油
8.8尾气排风管一周之内必须检查、清洗一次管路； 8.9经常检查泵的水流量、和N2供应；
8.10检查特气的供气压力，SiH4不得低于1公斤压力，不得高于4公斤压力；NH3不得低于4公斤压力，不得高于6公斤压力； 8.11每天检查设备炉体前后的水冷法兰的温度，不得高于70度；
版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 8.12经常检查石墨舟上的电极叉的变形程度，如变形严重应当更换。 8.13经常检查炉门上的两个螺钉是否松动，如松动，稍微拧紧即可。 8.14反应室（石英管）内的维护 8.14.1定期将碎片拿出；
8.14.2如果里面有大量的金黄色粉尘，将设备温度降至室温，用无尘布擦掉即可；
8.14.3清洗石英管的工作由于牵涉真空系统，为了保证安全，可以联系设备厂家；
8.15推舟、炉门机构运动部件的保养 8.15.1定期在导轨和丝杆上加润滑油；
8.15.2如果发现推舟机构异常，先与设备厂家联系；
版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 8 安全防护及处理 8.1安全防护
8.1.1 为了保护设备安全运行而不受外界干扰，或高频电源不构成对其它电气的干扰，本机供电及接地线都要求分开走，不可相互交叉。
8.2.2 本机正在做工艺时，人体不得接近废气室，非本机操作人员不得接近本机。
8.3.3 如机械泵爆油时必须紧急停机。为防止机油燃烧必须有消防器材，操作人员应紧急处理而不得逃离现场。 8.2注意事项 8.2.1安全性
Ⅰ.在“送片”、“取片”过程中严格仔细观察运动过程,不要让石墨舟碰到法兰.如发现情况异常,可按“急停”按钮中断推舟机构. Ⅱ.如果发生片子短路，跳出至第12步“抽空”，让其自动将石墨舟取出，提石墨舟至桌子上检查装片情况。 8.2.2故障排除 Ⅰ.送片过程:
版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 A推进过程发现石墨舟有可能碰到法兰则按“急停”按扭或人为将杆子往上托起一点让石墨舟能顺利进入；
B在退出过程中发现把石墨舟往外拉出则立即按“急停”按扭，并想办法将石墨舟拉到杆上，回到手动将石墨舟退出，重 新进到送片动作。 Ⅱ.取片过程：
在退出时没将石墨舟带出则按“急停”按钮并想法将石墨舟拉到杆上退出。
8.2.3上下两管错开通特气(否则NH3氨气流量不足)
8.2.4断水时将加热关闭，并保持反映室为真空状态，以免损坏真空系统。
8.2.5不要长时间让反应室暴露大气,建议总暴露时间不超过15分钟（其中包括送片和取片全过程），以免影响真空管路及测量系统。 8.2.6当炉门打开后，人员身体任何部位不要在炉门附近，以免由于某种原因炉门关闭而造成人员伤害。
8.2.7提取石墨舟时轻拿轻放，由于连接件为陶瓷杆，强度不是很高，所以要注意由于陶瓷杆断开而引起的损伤。
8.2.8如发现设备外围漏水等情况，必须先直接切断墙上总电源。
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