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专利名称：一种阵列基板、显示装置及其制作方法专利类型：发明专利
发明人：刘兆松,徐源竣,李松杉申请号：CN201710294119.8申请日：20170428公开号：CN107026178A公开日：20170808
摘要：本发明公开了一种阵列基板、显示装置及其制作方法。其中，阵列基板包括衬底基板和位于衬底基板上方的低温多晶硅晶体管和氧化物晶体管；低温多晶硅晶体管包括层叠设置的多晶硅层和第一绝缘层，第一绝缘层包括氧化硅层以及氮化硅层，其中氮化硅层位于多晶硅层和氧化硅层之间；氧化物晶体管包括层叠设置的氧化物半导体层和第二绝缘层，第二绝缘层不含氮化硅层。通过上述方式，有效降低了低温多晶硅晶体管的漏电问题，同时提高氧化物晶体管的可靠性。
申请人：深圳市华星光电技术有限公司
地址：518006 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
国籍：CN
代理机构：深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：钟子敏
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