一种氢气混合气净化氯硅烷与氯化氢的工艺[发明专利]

来源：华佗小知识

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种氢气混合气净化氯硅烷与氯化氢的工艺专利类型：发明专利发明人：杨皓,宁平,王娟芸申请号：CN201610241111.0申请日：20160419公开号：CN105935537A公开日：20160914

摘要：本发明通过两段吸附可将混合气中3％(摩尔比)的氯硅烷与氯化氢的含氯成分控制在0.1mg/Nm以内，第一段吸附将粗净化气含氯成分控制在90～100mg/Nm，顺向降压气含氯成分控制在5000～10000mg/Nm，吸附塔再生采用变温变压吸附工艺，吸附剂加热同时逆向降压、顺向降压气热吹、吸附剂降温同时用第二段顺向降压解吸气冷吹，吸附塔采用原料气升压；第二段净化气的含氯成分控制在0.1mg/Nm以内，顺向降压气含氯成分控制在90～100mg/Nm，吸附塔再生采用变压吸附工艺，再生过程包含顺向降压解吸、逆向降压解吸，净化气60KPa吹扫，逆解气与吹扫气直接与一段再生气混合送循环压缩机。

申请人：杨皓

地址：610036 四川省成都市金牛区金府路88号万通金融广场3724号

国籍：CN

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文