电感及其形成方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210184958.1 （22）申请日 2012.06.06

（71）申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江路18号

（10）申请公布号 CN103474415A

（43）申请公布日 2013.12.25

（72）发明人 程仁豪;王西宁;刘凌

（74）专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司

代理人 骆苏华

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

电感及其形成方法

（57）摘要

一种电感及其形成方法，其中，电感包

括：半导体衬底；位于半导体衬底上方重叠设置的第一平面螺旋线圈、第二平面螺旋线圈和第三平面螺旋线圈，包括最外圈金属线、以及与最外圈金属线连接的内圈金属线，其中，内圈金属线包括至少2根相互隔离的子金属线，子金属线的一端分别与最外圈金属线连接，最外圈金属线的另一端与第一接触层连接；第一导电栓塞两端分别连接第一平面螺旋线圈和第二平面螺旋线圈内

圈的子金属线的一端连接；第二导电栓塞两端分别连接第二平面螺旋线圈和第三平面螺旋线圈内圈的子金属线的一端连接；第一导电栓塞与第二导电栓塞连接；第一平面螺旋线圈和和第三平面螺旋线圈的最外圈金属线的一端连接。所述电感的品质因数Q提高。

法律状态

法律状态公告日2013-12-25 2014-01-22 2016-08-31

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

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说明书

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