专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：排气管路专利类型：实用新型专利发明人：刘兆虎,曾海,谢诚,杨全申请号：CN201020180799.4申请日：20100429公开号：CN201729878U公开日：20110202
摘要：本实用新型提供一种排气管路，用于化学气相淀积设备，包括：歧管；第一管路，一端与所述歧管相连；以及第二管路，一端与所述歧管相连；其中，所述第二管路的一端具有一延伸部延伸至所述歧管内部，所述延伸部的末端接近所述歧管的出气口。所述第一管路内的气体与所述第二管路内的气体方向一致，而避免由于两股气体对冲而导致的气体回流现象，保证TiN薄膜的质量，且所述第二管路内的气体不会直接冲击压力表，压力表可准确测量出反应腔内的压力，并延长压力表的使用寿命。
申请人：武汉新芯集成电路制造有限公司,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：430205 湖北省武汉市东湖技术开发区高新四路18号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
更多信息请下载全文后查看
