洁净室风量标准
来源:华佗小知识
洁净室风量标准
洁净室风量标准 一、风量标准 1.洁净室风量标准: A.前室:150m3/h—200m3/h B.后室:50m3/h—100m3/h
(具体风量根据实际洁净室空间尺寸和设备容器数量进行设计调试)
2. 负压室排风量标准: A. 正常排风量:200m3/h B. 过载排风量:400m3/h 3. 压缩空气洁净等级: A. 空压机滤网等级:0.01μm
B. 滤网结构:滤网应双重结构(空滤+油滤),空气过滤时压差不得大于0.3KPa
C. 压缩空气洁净度符合NPL-99标准 二、风量控制要求
1. 洁净室风量应处于50%—90%设计风量范围内;
2. 洁净室收纳窗应有自动控制装置,并根据洁净室内外温度变化及人员流动而变化;
3. 洁净室内外温度差应保持在3℃以内,相对湿度在45%以内,控制风量达到此目的;
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4. 洁净室门口应安装正反吹系统,反吹时风量不低于100m3/h; 5. 压缩空气应处于正常排风量,过载排风量应加强控制。
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