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专利名称：一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制
备方法
专利类型：发明专利
发明人：蒋永刚,董子豪,张德远,沈大卫申请号：CN201911021092.0申请日：20191025公开号：CN110672876A公开日：20200110
摘要：本发明公开一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法。该柔性矢量流速传感器包括：柔性薄膜基底、压阻传感单元和信号引线；在柔性薄膜基底上设置有孔，在孔中由孔边缘向孔中心延伸出4个悬臂梁；任意相邻的两个悬臂梁相互垂直，任意间隔设置的两个悬臂梁共线；压阻传感单元的数量与悬臂梁的数量相同；每个压阻传感单元固定在对应的悬臂梁上且与柔性薄膜基底相接触；信号引线的数量是压阻传感单元的数量的2倍；每个信号引线均固定在柔性薄膜基底上；每个信号引线的一端均连接到对应的压阻传感单元，另一端延伸至柔性薄膜基底的边缘。本发明能够检测来流速度和方向并避免对流场产生干扰。
申请人：北京航空航天大学
地址：100191 北京市海淀区学院路37号
国籍：CN
代理机构：北京高沃律师事务所
代理人：刘凤玲
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