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专利名称：控制等离子体室内的离子能量专利类型：发明专利
发明人：索斯藤·利尔,哈梅特·辛格,亚历克斯·帕特森,高里·卡
马斯
申请号：CN201410301183.0申请日：20140627公开号：CN104254187A公开日：20141231
摘要：本发明涉及控制等离子体室内的离子能量，具体描述了控制等离子体室内的离子能量的系统和方法。所述系统之一包括耦合到正弦RF发生器用于接收正弦信号的上电极和用于产生非正弦信号的非正弦RF发生器。该系统进一步包括耦合到非正弦RF发生器的功率放大器。功率放大器用于放大非正弦信号以产生放大信号。该系统包括耦合到功率放大器的滤波器。滤波器用于利用滤波信号过滤放大信号以产生滤波后信号。该系统包括耦合到滤波器的卡盘。卡盘面向上电极的至少一部分且包括下电极。下电极用于接收滤波后信号以促使实现卡盘处的离子能量在下限阈值和上限阈值之间。
申请人：朗姆研究公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：上海胜康律师事务所
代理人：李献忠
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