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专利名称：一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置专利类型：实用新型专利发明人：宗坚
申请号：CN201621295878.3申请日：20161130公开号：CN206304930U公开日：20170707
摘要：本实用新型一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置，属于等离子体技术领域。该装置中，真空室的顶部或侧面安装圆柱形放电腔；放电腔外部安装电磁线圈或永久磁铁；放电腔远离真空室的一端安装有微波窗口，微波窗口与微波波导一端连接，微波波导另一端连接微波源；微波源产生的微波在放电腔内与电磁线圈或永久磁铁的磁场共同作用发生放电，使单体发生聚合并沉积在基材表面形成聚合物涂层，微波源连续输出微波进行等离子体态聚合表面涂层，微波源断续输出微波进行等离子体引发聚合表面涂层。通过本实用新型的装置通入的载体气体压力低，单体扩散良好，从而使得制备的等离子体聚合表面涂层更加均匀。
申请人：无锡荣坚五金工具有限公司
地址：江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路
国籍：CN
代理机构：大连理工大学专利中心
代理人：梅洪玉
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