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专利名称：一种检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法及装
置
专利类型：发明专利
发明人：金向华,宗立冬,夏致远,孙猛,陈琦峰,周珽,曹文权,许
军州,唐璐
申请号：CN201610569041.1申请日：20160719公开号：CN106248520A公开日：20161221
摘要：本发明公开了一种检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法，包括如下步骤：将三氟化硼原料气按质量分成等量的两份，称为第一三氟化硼原料气和第二三氟化硼原料气，分别进入第一测试流程和第二测试流程。试验证明，本发明的方法可以准确地测量三氟化硼络合物生产过程中三氟化硼尾气的氟化氢含量，具有良好的判定性能，取得了显著的效果。
申请人：苏州金宏气体股份有限公司
地址：215152 江苏省苏州市相城区黄埭镇潘阳工业园安民路6号
国籍：CN
代理机构：苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)
代理人：陆金星
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