低电阻率的钽

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN00119910.2 （22）申请日 2000.06.30 （71）申请人 国际商业机器公司

地址 美国纽约

（10）申请公布号 CN1290940A （43）申请公布日 2001.04.11

（72）发明人 E·C·库尼三世;C·E·乌佐

（74）专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人 段承恩

（51）Int.CI

H01B1/02; H01L21/3205; H01L21/768; H01L23/532;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

低电阻率的钽

（57）摘要

提供一种具有约15微欧姆－厘米或更低

的电阻率的α相的钽,而且,所述钽特别适合用作铜以及铜合金互连线的阻挡层。

法律状态

法律状态信息

实质审查请求的生效 实质审查请求的生效 公开 公开 授权 授权 专利权的终止

法律状态

实质审查请求的生效 实质审查请求的生效 公开 公开 授权 授权 专利权的终止

法律状态公告日

2000-11-01 2000-11-01 2001-04-11 2001-04-11 2005-03-02 2005-03-02 2020-07-24

权利要求说明书

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说明书

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