基于同步载频移相的干涉检测装置与检测方法[发明专利]
来源：华佗小知识
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：基于同步载频移相的干涉检测装置与检测方法专利类型：发明专利
发明人：钟志,单明广,郝本功,窦峥,张雅彬,刁鸣申请号：CN201210424562.X申请日：20121030公开号：CN102954758A公开日：20130306
摘要：基于同步载频移相的干涉检测装置与检测方法，属于光学干涉检测领域。它解决了现有同步载频移相干涉检测装置结构复杂及检测方法的数据处理复杂的问题。装置包括光源、偏振片、准直扩束系统、第一偏振分光棱镜、待测物体、第一反射镜、第二反射镜、第二偏振分光棱镜、λ/4波片、矩形窗口、第一傅里叶透镜、一维周期光栅、第二傅里叶透镜、偏振片组、图像传感器和计算机；方法为使光源发射的光束经第一偏振分光棱镜后分成物光束和参考光束，再将离焦光栅分光技术和偏振调制技术相结合，通过一次曝光采集获得两幅相移干涉图，并通过差动相减方法消除零频分量达到物体相位恢复的目的。本发明适用于微小物体的形貌检测。
申请人：哈尔滨工程大学
地址：150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号
国籍：CN
代理机构：哈尔滨市松花江专利商标事务所
代理人：张宏威
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