平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，工艺节距之间的平面度误差是0.05毫米。
1、公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。平面度属于形位误差中的形状误差。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。
2、平面度是表面各点呈平面的状态，是针对平面发生不平而提出的要求，用于宽广平面，如平板、工作台的支承平面、箱体和盖板的密封平面、摩擦片的接触平面等。平面度是形状控制，理想的单一连续面上所有的元素点必须位于同一平面上，不应用参考基准，可以控制平面或拟合中心面。平面度公差带由两个平行直平面组成，所有受控的被加工要素必须位于这个公差带之内。平行度应用比较广泛，主要是用于主基准的定义，作为建立其他两个基准面或零件尺寸要素的第一参考平面。对于定义一个能够保证配合平稳的装配面是非常有效的控制方式。平面度也用来控制一个平面的表面粗糙度。
